利用有限元分析方法對SCSP器件內(nèi)部粘結(jié)劑的溢出問題進(jìn)行了研究.對粘結(jié)劑不同溢出高度的模型進(jìn)行有限元建模分析,模擬結(jié)果能很好地和實驗結(jié)果相吻合.為了有效減少由熱應(yīng)力引發(fā)產(chǎn)生的分層,模擬得到了粘結(jié)劑溢出高度的最佳控制范圍.
doi:
10.3969/j.issn.1674-4926.2004.02.021
關(guān)鍵詞:
SCSP 溢出高度 分層 有限元方法
作者:
金瑋 桑文斌 張奇 滕建勇
作者單位:
上海大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院,上海,201800
刊名:
半導(dǎo)體學(xué)報
Journal:
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
年,卷(期):
2004, 25(2)
所屬期刊欄目:
研究論文
分類號:
TN306
在線出版日期:
2004年03月25日(萬方平臺首次上網(wǎng)日期,不代表論文的發(fā)表時間)
頁數(shù):
共5頁
頁碼:
232-236
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