申請?zhí)?shy; |
CN85100697 |
申請日 |
1985.11.23 |
公開(公告)號 |
CN85100697A |
公開(公告)日 |
1986.09.24 |
IPC分類號 |
C23F11/00; C23F13/02 |
申請(專利權(quán))人 |
中國科學(xué)院物理研究所; |
發(fā)明人 |
陳立泉;肖超亮;薛榮堅; |
優(yōu)先權(quán)號 |
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優(yōu)先權(quán)日 |
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申請人地址 |
北京市603信箱; |
CPC分類號 |
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