申請?zhí)?shy; |
CN200810179966 |
申請日 |
2008.09.26 |
公開(公告)號 |
CN101683587A |
公開(公告)日 |
2010.03.31 |
IPC分類號 |
B01D53/28; H01L51/56; H01L51/50; H05B33/04 |
申請(專利權(quán))人 |
株式會社東芝; |
發(fā)明人 |
秋元佳子;五十川昌邦; |
優(yōu)先權(quán)號 |
JP251550/2007; JP235148/2008 |
優(yōu)先權(quán)日 |
2007.09.27; 2008.09.12 |
申請人地址 |
日本東京都; |
CPC分類號 |
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